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                    系統設備
                    
                    
                  
                                     
     		   
		          
    
                    
    
                      RTP快速退火爐
                      
                      
                    
    
                  
     
		    
		          
    
                    
    
                      PECVD系統
                      
                      
                    
    
                  
     
		    
		          
    
                    
    
                      CVD系統
                      
                      
                    
    
                  
     
		    
		          
    
                    
    
                      CVD管式爐
                      
                      
                    
    
                  
     
		    
		          
    
                    
    
                      滑軌式快速退火爐
                      
                      
                    
    
                  
     
		    
		          
    
                    
    
                      鋰離子電池設備
                      
                      
                    
    
                  
     
		    
		          
    
                    
    
                      石墨烯制備系統
                      
                      
                    
    
                  
     
		    
		
    
         
		
    
        
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    RTP-小型快速退火爐
    
  

      

      
  RTP-小型快速退火爐
    
      時間：2023-05-09生產地址：天津廠商性質：生產廠家瀏覽量：4852
      
	
      產品應用：該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗 。
      
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