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與傳統設備相比,CVD系統具有什么特點?

更新時間:2021-04-07    發布時間:2021-04-07    點擊次數:4128
  CVD系統以進口電阻絲瑞典為加熱元件,采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表,能進行40段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
 
  適用范圍:
  CVD系統設備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜,并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質涂層、裝飾等領域。

 

  CVD系統使用特點說明:
  1、多晶纖維爐膛,節能耐腐蝕:重量輕、升溫速度快、節能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿足何種快速燒結的要求。
  2、高純石英爐管爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工:具有極低的熱膨脹系數、耐高溫、化學穩定性好、電絕緣性好。
  3、雙層內膽爐殼雙層內膽爐殼,配有風冷系統,快速升降溫:整個爐體采用雙層內膽式結構,中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度高達1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
  4、真空法蘭法蘭采用雙環密封技術:有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。
  5、合金電熱絲內嵌式合金電熱絲,升溫快,壽命長:加熱元件采用內嵌式合金電熱絲,發熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便,使用壽命長。
  6、微電腦PID控制器微電腦PID控制器,操作簡便:操作簡便,控溫、可靠、安全多段可編程控制,可以簡化復雜的試驗過程,真正實現自動控制和運行。

 

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